2024年10月14-16日在云南省昆明市,德州学院物理与电子信息学院教师霍晓迪参与了国家半导体材料标准工作会议,讨论了由德州学院和中国科学院半导体研究所牵头负责的国家标准《金刚石单晶抛光片位错密度的测试方法》(国标委发[2024]16号 20240136-T-469)。该会议由全国半导体设备和材料标准化技术委员会主办。
霍晓迪教师作为首位起草人全程参与了该国标的编制。会上,来自山东大学等近20家企事业单位与会代表经过讨论,一致通过了该国标讨论稿的审定。
金刚石作为超宽禁带半导体材料在国防、5G 通讯、能源互联网、新能源汽车、量子技术等领域具有战略性地位,有着广泛的发展前景。它们具有耐高压、低功耗的显著优势,已经成为了中国功率半导体行业研发和产业化的重点。
本标准为半导体金刚石单晶衬底和外延材料的晶体质量提供准确的和标准化的检测机制,这对于半导体金刚石单晶衬底和外延材料的研发、生产和应用过程中产品质量的统一控制有重要的意义。
另外,霍晓迪教师参与起草的两项关于半导体金刚石的团体标准 T/IAWBS 018-2022和T/IAWBS 017-2022也相继发布实施。
在接下来的工作中,物电学院将继续深入研究国内外相关标准,广泛收集行业数据,积极参与标准草案的讨论和修订,确保制定出的国家标准既科学合理,又具有前瞻性和实用性。